随着汽车智能化程度的提高,一辆车上可能安装了数十个MEMS(微机电系统)传感器:胎压监测、安全气囊加速度计、车载麦克风、激光雷达振镜等。传统的芯片标准AEC-Q100主要针对集成电路,难以完全覆盖MEMS器件特殊的机械结构特性。因此,AEC-Q103应运而生。
AEC-Q103 vs AEC-Q100:区别在哪?
MEMS器件的特点是“微观上会动”。它内部有极微小的悬臂梁、薄膜或梳齿结构。
- AEC-Q100: 关注电迁移、氧化层击穿等电学失效。
- AEC-Q103: 在此基础上,额外关注机械失效,如结构断裂、颗粒卡死、粘连(Stiction)。
AEC-Q103的核心测试要点
1. 机械冲击 (Mechanical Shock)
MEMS结构非常脆弱。测试要求施加极高的G值(例如3000g甚至更高),模拟车辆碰撞或跌落。重点验证悬臂梁是否断裂,或者封装内的微小颗粒是否被震落导致卡死机械结构。
2. 变频振动 (Variable Frequency Vibration)
MEMS器件通常有固有的谐振频率。测试需扫描广泛的频率范围,确保外界振动不会引起MEMS内部结构的共振,导致输出信号失真或结构损坏。
3. 跌落测试 (Drop Test)
这是MEMS特有的。模拟组装过程中可能发生的跌落。通常要求在1.2米高度跌落到混凝土地面上,验证其抗冲击能力。
4. 寿命循环 (Operation Life)
对于有活动部件的MEMS(如DLP微镜),需要进行数十亿次的动作循环,验证机械疲劳寿命。
总结
AEC-Q103认证是MEMS传感器进入汽车前装市场的“硬门槛”。它要求传感器不仅算得准,还得“骨头硬”,在长期的振动和冲击下依然保持高精度。
深圳德垲是国内领先的车规芯片认证实验室,具备完整的AEC-Q103测试能力。我们针对MEMS器件的特殊性,配备了高G值冲击台和MEMS专用动态测试系统,能够为压力、惯性及声学传感器提供全方位的车规级可靠性验证。






