在先进材料研发、失效分析及半导体制造中，元素成分的精准识别是解决问题的关键第一步。EDS（Energy Dispersive X-ray Spectroscopy，能谱分析）作为与电子显微镜联用的核心技术，可快速、无损地获取微区元素组成信息，已成为现代实验室不可或缺的分析手段。本文将系统介绍 EDS 的三大主流应用场景、服务优势及样品要求，助您高效推进研发与质检工作。
什么是 EDS 能谱分析？
EDS 通过检测样品在电子束轰击下产生的特征 X 射线，实现对元素种类与含量的定性及半定量分析。其优势在于：
- 高空间分辨率（可达纳米级）
- 多元素同时检测（通常覆盖原子序数 ≥5 的元素）
- 与 SEM/FIB/TEM 无缝集成，实现形貌-成分一体化分析
三大 EDS 检测服务类型
我们提供三种主流 EDS 联用检测方案，适配不同精度与场景需求：
SEM-EDS：快速微区成分筛查
适用于表面形貌观察与元素分布 mapping，常用于焊点分析、异物识别、涂层成分检测等。
FIB-EDS：定点深度剖析
结合聚焦离子束（FIB）精准切削能力，可对特定微结构（如晶体管栅极、通孔）进行截面 EDS 分析，实现三维元素分布重建。
TEM-EDS：原子级元素解析
在透射电镜下进行，空间分辨率可达 1 nm 以下，适用于先进制程中的界面扩散、析出相、掺杂分布等高精度分析。
服务详情一览
| 检测项目 | 报价单位 | 适用样品类型 |
|---|---|---|
| SEM-EDS | 小时 (h) | 符合检测要求的各类固体样品 |
| FIB-EDS | 小时 (h) | 同上 |
| TEM-EDS | 小时 (h) | 同上 |
测试周期灵活：
- 常规：3 个自然日
- 加急选项：48h / 24h / 12h（需定制报价）
样品送检须知（必读）
为确保检测顺利进行，请确保样品满足以下要求：
- 无液体、无挥发性成分（样品必须完全干燥）
- 在电子/离子束下稳定（部分有机物、生物样品可能碳化或分解，不适用）
- 尺寸限制：长 × 宽 × 高 ≤ 10 cm × 10 cm × 5 cm
建议提前与技术团队沟通特殊样品处理方案。
为什么选择我们？
✅ 专业团队，懂制程更懂检测
技术团队核心成员具备先进制程晶圆制造背景，深刻理解半导体、封装、新材料领域的失效机理与分析需求。
✅ 全流程能力，响应极速
作为专业第三方检测机构，我们拥有完善的样品管理、制样、测试、数据分析体系，可提供从单点检测到整案失效分析的一站式服务。
总结
EDS 能谱分析作为材料微区成分识别的“眼睛”，在半导体、电子元器件、新能源、金属材料等领域发挥着不可替代的作用。选择高时效、高精度、高可靠性的检测服务，不仅能加速问题定位，更能为产品迭代与质量控制提供坚实数据支撑。
深圳德恺专注于半导体及先进材料的失效分析与检测服务，提供涵盖 PFIB、AFM、晶圆劈裂、FIB 制样、TEM 分析等在内的全流程技术解决方案。依托专业团队与先进平台，我们致力于为客户提供权威、高效、定制化的检测支持，助力研发与量产提速。
