电迁移(EM)测试在功率器件中的应用

在大电流功率器件中,电迁移(EM)是导致芯片寿命终结的主要杀手。本文详解电子风导致金属原子迁移的机理,Black方程的应用,以及如何通过高温高电流密度测试评估互连可靠性。